EL级：优于美国SEMI C1、C2标准，控制1μm颗粒，控制十多个金属元素，单项金属元素控制在100ppb:
SD-I级：等同CMOS级，控制0.5μm颗粒，控制三十多个 金属元素，单位项金属元素控制在10~100ppb以下；
SD-II级：等同于行业中UP级，亦等同于美国SEMI C7标准，控制0.5、0.3μm颗粒，控制三十多个金属元素，单项金属元素控制在10ppb以下；
SD-III级：等同于行业中UPS级，亦等同于美国SEMI C8标准，控制0.3μm颗粒，控制三十多个金属元素，单项金属元素控制在1ppb以下；
SD-IV级：等同于行业中UPSS级，控制0.2μm颗粒，控制三十多个金属元素，单项金属元素控制在0.1ppb以下。
*详细规格及参照欢迎致电我司。
